電子行業廢氣治理解決方案
行業概況
隨著電子行業的迅速發展,電子產品制造產生的廢氣污染問題也隨之而來。電??業中的VOCs種類常見的有30多種,主要來自半導體器件、電子元器件、電子件、平板顯示器、整機機殼等電子產品的表面涂層過程中使用的溶劑基涂層以及清潔過程中使用的有機溶劑。如果不對這些廢氣進行處理,當有害物質漂浮在空氣中時,這不僅會污染我們的環境,還會危害我們的健康。尤其是工作人員,如果長時間吸入這些氣體,將會對肺產生巨大影響,從而導致各種疾病。
電子產品制造主要分為六大類:電子專用材料、電子元件、印制電路板、半導體器件、顯示器件及光電子器件、電子終端產品(含涂裝工藝在內)。
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廢氣特點
電子工業是VOCs排放的主要行業之一,電子工業廢氣VOCs排放種類多,組分復雜。一般來說,廢氣排放中風量較大,VOCs濃度較低。半導體工藝過程中有機廢氣具有排放流量大(通常大于11000m/h)和濃度低(通常小于25ppmv)的特點。排放VOCs廢氣中還含有酸性氣體、堿性氣體和一些有毒氣體。
常見的VOCs廢氣種類有:異丙醇,甲乙酮,甲苯,乙酸丁酯,甲醇,乙醇,丙酮,二甲苯,丙二醇單甲醚,苯乙烯,乙酸乙酯,正丁醇,甲基異丁基酮,二甲基氯,環已酮,乙苯,正庚烷,甲基氫呋喃,三氯乙烯和氯仿。

治理工藝
針對電子行業VOCs廢氣排放特點 ,電子行業廢氣處理常采用的方法有:吸附法、焚燒法等。吸附法利用多孔性固體吸附劑處理混合氣體,吸附劑選擇性高,活性炭屬非極性吸附劑,對非極性化合物有較強的吸附能力,一般可凈化低濃度VOCs;焚燒法是沸石濃縮轉輪 + 焚燒方法使用的濃縮輪是一個裝滿吸附劑的旋轉輪,廢氣由旋轉輪的上游側進入濃縮輪的吸附區,使VOCs 得到濃縮,再經脫附燃燒處理。
1. 針對電子行業產生的調配、點膠、噴墨、噴涂/涂布、烘干等廢氣,可以考慮以下幾種技術進行解決:
1) 預處理+ 活性炭吸附 -脫附+ 催化燃燒( CO )工藝;
2) 預處理+ 沸石轉輪 +蓄熱式焚燒爐(RTO )工藝;
溫度較高的烘干廢氣建議采用蓄熱式焚燒或催化燃燒裝置,如以上第二種工藝。
2. 針對電子行業產生的刻蝕等廢氣,建議采用噴淋塔+高效吸附+催化燃燒或其他等效方式處理。
3. 對于半導體、TET-LCD和LED、PCB等企業有機廢氣一般還含有酸性氣體、堿性氣體和一些有毒氣體,治理技術建議采用組合方式,噴淋塔淋洗+沸石濃縮轉輪+焚燒方法,對電子終端產品企業多采用活性炭吸附,進行“三防”噴涂需增加除漆霧裝置。
案例分享
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廢氣治理案例--電子行業(鎧嘉電子)
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沸石濃縮轉輪+RTO系統是我司結合多年工程經驗所選擇的適合低濃度、大風量的有機廢氣處理裝置。系統主要由預處理裝置、沸石濃縮轉輪、蓄熱式焚燒爐(RTO)、風機、煙囪等組成。
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